荏原は半導体製造に使われるドライ真空ポンプのオーバーホール工場を福島県伊達市に新設する。２０２３年６月に着工し、２４年７月に竣工する予定。投資額は非公表。ドライ真空ポンプのオーバーホール工場は５カ所目で、東北地方では初。東北の半導体産業のオーバーホール需要を取り込む。
ドライ真空ポンプは精密・電子事業の主力製品で、封止に油や液体を使用しない非接触型の真空ポンプ。水や油の逆流や拡散なしにクリーンな真空を得られる。オーバーホールは製品を分解、洗浄して汚れを除去し、組み立て、試験を経て性能を回復させる。
新工場は建築面積が約３０００平方メートル、…
